真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)表:
型號(hào) | 真空等離子清洗機(jī)TS-PL180L |
外形尺寸 |
W1200mm×D1200mm×H1730mm |
真空腔尺寸 |
W500mm×D600mm×H600mm |
腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
極板數(shù)量 | 9 |
等離子體發(fā)生器 |
RF 13.56Mhz /40Khz |
功率 | 0~1000W可調(diào) |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
真空泵 | 干泵/油泵可選 |
電源 | AC 380V |
真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
進(jìn)口不銹鋼316材質(zhì)真空腔體:軍工級(jí)別密封,避免氣體泄露,又實(shí)現(xiàn)高效卓越的真空度,為等離子體創(chuàng)造極佳的反應(yīng)條件。
自主研發(fā)等離子體控制系統(tǒng): 可根據(jù)腔體環(huán)境精準(zhǔn)控制等離子體發(fā)生時(shí)間和反應(yīng)強(qiáng)度,可進(jìn)行多步工藝流程處理,采用歐姆龍、施耐德等進(jìn)口品牌電器元件, 有手動(dòng)、自動(dòng)兩種控制模式,10.7”真彩觸摸屏,可編程控制器,可在線設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時(shí)間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù),并具有故障報(bào)警、工藝存儲(chǔ)、密碼鎖定、系統(tǒng)維護(hù)等多種功能。
高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng),兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣),雙路氣流控制,比例可調(diào),采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)及閥件。
強(qiáng)大的全面安全防護(hù)系統(tǒng):溫度安全防護(hù)功能,過載防護(hù)功能,短路斷路報(bào)警防護(hù)功能,非法操作提示、清潔結(jié)束提示,各種誤操作保護(hù)功能等。
處理全程無污染 ,等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備,無產(chǎn)生任何污染,處理過程也無產(chǎn)生任何污染??梢耘c原有生產(chǎn)流水線搭配,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
真空等離子清洗機(jī)工作原理:
真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理。
等離子體主要是通過氣體放電產(chǎn)生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì),具有活化材料表面的作用。例如,電子質(zhì)量小、移動(dòng)速度快,可以先一步到達(dá)材料表面并使其帶有負(fù)電荷,同時(shí)對(duì)材料表面產(chǎn)生撞擊作用,可促使表面吸附的氣體分子解吸或分解,也有利于引發(fā)化學(xué)反應(yīng);材料表面帶有負(fù)電荷時(shí),帶正電荷的離子會(huì)加速向其沖擊,所產(chǎn)生的濺射作用會(huì)將表面附著的顆粒性物質(zhì)除去;等離子體中自由基的存在對(duì)清洗作用具有非常重要的意義,由于自由基易與物體表面發(fā)生化學(xué)連鎖反應(yīng),產(chǎn)生新的自由基或進(jìn)一步分解,最后可能會(huì)分解成揮發(fā)性的小分子;而紫外線具有很強(qiáng)的光能和穿透能力,可透過材料表面深達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用,使表面附著物質(zhì)的分子鍵斷裂分解。
售后服務(wù):
響應(yīng)迅速在,廣東,四川,湖南,河南,江蘇等地均有售后服務(wù)點(diǎn),為用戶免費(fèi)提供真空等離子清洗機(jī)的上門安裝及調(diào)試服務(wù),保證設(shè)備正常運(yùn)行,提供壹年質(zhì)保服務(wù),質(zhì)保期免費(fèi)維修。